Trước năm 1962, xenon và các khí hiếm khác nói chung được coi là trơ về mặt hóa học và không thể tạo ra các hợp chất hóa học. Các chứng cứ sau đó chỉ ra rằng xenon, cùng với các khí hiếm khác, trên thực tế có tạo ra các hợp chất. Một số hợp chất của xenon là điflorua xenon, têtraflorua xenon, hexaflorua xenon, hiđrat và đơterat cũng như perxenat natri. Hợp chất có tính gây nổ cao là triôxít xenon cũng được tạo ra. Có ít nhất 80 hợp chất của xenon, trong đó flo hay ôxy được liên kết với xenon. Một số hợp chất của xenon có màu nhưng đa phần là không màu.